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超LSI共同研究所とその波及 日本半導体製造装置・材料を世界一にしたプロジェクト/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 丸善プラネット
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4863455788
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2025年03月01日
この商品の紹介
１９７５年から１９８０年３月まで、将来の超ＬＳＩを作る基礎的共通的な製造装置の開発を行った超ＬＳＩ共同研究所。設立前夜と研究の成果、その分野のその後などを解説する。
超LSI共同研究所とその波及 日本半導体製造装置・材料を世界一にしたプロジェクト/単行本
1,370
円(税込)
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