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半導体デバイスにおける界面制御技術/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 内田老鶴圃
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4753650507
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2021年04月01日
この商品の紹介
半導体デバイスの今後の発展に重要となる界面創製技術の手引書。半導体デバイスの製造プロセス、半導体デバイスにおける材料界面の組織学、界面組織評価技術など、界面創製技術の基礎と応用を解説する。
半導体デバイスにおける界面制御技術/単行本
2,690
円(税込)
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