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半導体・電子材料分析/単行本

作家 ： 日本分析化学会
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この商品の詳細

出版社
丸善出版
出版社シリーズ
試料分析講座
ISBN
4621087008
サイズ
単行本
発売年月日
2013年07月01日

この商品の紹介

半導体・電子材料を用いたナノ構造デバイスの研究開発、不具合診断、製造装置の条件出しなどに用いられる種々の分析法の原理・特徴を解説し、応用・分析例を示す。今後の利用が期待される分析・計測法についても取り上げる。

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