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ポストシリコン半導体 ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- エヌ・ティー・エス
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4864690591
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2013年06月01日
この商品の紹介
次世代エレクトロニクスへの応用が期待される半導体材料に関して、その成長制御技術や界面制御技術、デバイス開発動向、界面評価技術、量子論や計算科学的手法による薄膜・界面の解析などの最新の知見をとりまとめる。
ポストシリコン半導体 ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果/単行本
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