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薄膜工学/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 丸善出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4621084144
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2011年06月01日
この商品の紹介
薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた２次元・３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
薄膜工学/単行本
1,260
円(税込)
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