この商品の詳細
- 出版社
- 東京電機大学出版局
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4501418908
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2011年05月01日
この商品の紹介
できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。用語の語源や由来の説明、計算の課程も提示。後半では、真空を応用した各種プロセスも詳述する。
半導体真空技術 ポイント解説/単行本
1,150
円(税込)
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