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ナノインプリント技術および装置の開発/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- 〔CMCテクニカルライブラリー〕
- ISBN
- 9784781303024
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2011年02月01日
この商品の紹介
低コストかつ高性能なナノ構造の転写を可能にするナノインプリント技術。その転写方式から、装置と関連部材、デバイス応用までを網羅し、詳しく解説する。
ナノインプリント技術および装置の開発/単行本
1,990
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