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フォトレジスト材料開発の新展開/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784781301495
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2009年08月01日
この商品の紹介
現在多方面で使用されている、また将来用いられる微細加工用レジスト材料。最前線で活躍している研究者たちが、その最新の技術動向や問題点、将来の展望について詳述する。
フォトレジスト材料開発の新展開/単行本
800
円(税込)
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