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マイクロセンサ工学/単行本

作家 室英夫

マイクロセンサ工学/単行本

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この商品の詳細

出版社
技術評論社
出版社シリーズ
ISBN
9784774139043
サイズ
単行本
発売年月日
2009年08月01日

この商品の紹介

センサの基本的な分類と各種変換効果、MEMSセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。

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