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半導体CMP用語事典/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- オーム社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784274206122
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2008年10月01日
この商品の紹介
加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
半導体CMP用語事典/単行本
2,200
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