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薄膜の基本技術/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 東京大学出版会
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784130628402
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2008年07月01日
この商品の紹介
現代の最先端技術を支える材料である「薄膜」。真空装置の基本から、真空蒸着法、スパッタリング法、膜厚測定法、関連技術まで、薄膜技術に関する基本知識を系統的に解説する。
薄膜の基本技術/単行本
1,150
円(税込)
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