この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784882319689
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2007年11月01日
この商品の紹介
電気や機械など多様な技術の組み合わせで作られ、幅広い分野に使われるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）。その材料から製作、デバイス、周辺と応用までを解説する。
MEMSマテリアルの最新技術/単行本
1,990
円(税込)
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