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図解でわかる半導体製造装置/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 日本実業出版社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784534042170
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2007年04月01日
この商品の紹介
「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
図解でわかる半導体製造装置/単行本
550
円(税込)
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