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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理/単行本

作家 ： 近藤英一
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この商品の詳細

出版社
共立出版
出版社シリーズ
ISBN
4320081544
サイズ
単行本
発売年月日
2005年10月01日

この商品の紹介

気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。

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