この商品の詳細
- 出版社
- オーム社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4274201236
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2005年10月01日
この商品の紹介
プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術等の応用技術まで、平成１３年からの調査研究をまとめる。
プラズマイオンプロセスとその応用/単行本
1,790
円(税込)
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