この商品の詳細
- 出版社
- 技術評論社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4297154622
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2026年05月01日
この商品の紹介
半導体集積回路の高集積化を牽引するリソグラフィ技術の基本と応用を詳述。超微細な構造を実現するナノインプリントリソグラフィ技術、光リソグラフィ技術の解像限界を突破するマルチパターニング技術などについて解説する。
EUV時代の半導体リソグラフィ技術/単行本
2,200
円(税込)
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