この商品の詳細
- 出版社
- 近代科学社Digital
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4764907799
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2026年02月01日
この商品の紹介
主にSiおよびSiCの酸化機構、それによって形成されたSiO2と界面の特徴について、酸化に伴って起こる様々な現象の物理的理解に関する議論と、その理解に基づいて課題をどのように克服したらよいのかという議論で構成。
半導体の酸化機構と酸化膜/単行本
4,998
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