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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS，NEMS，センサ，CMOSLSIの融合/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- 新材料・新素材シリーズ
- ISBN
- 4781313641
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2019年04月01日
この商品の紹介
微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS，NEMS，センサ，CMOSLSIの融合/単行本
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