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現在のシリコン半導体製造プロセスでは、じつにさまざまな材料が使用されている。また、製造技術の急進により新たに導入される材料も多い。本書は、これら半導体製造材料を構造とプロセスにそってわかりやすく解説したものである。材料名の羅列を避け、初心者向けに半導体材料の物理的イメージに主眼をおいてまとめられた技術者必携の入門書である。
目次 :第1章 半導体材料とトランジスタ構造;第2章 シリコンの物性とシリコンウェハ;第3章 配線・電極材料;第4章 層間絶縁膜材料;第5章 高誘電率膜材料;第6章 リソグラフィプロセス材料;第7章 半導体プロセス・ガス材料;第8章 CMPプロセス材料;第9章 ウェットプロセス材料
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