この商品の詳細
- 出版社
- エヌ・ティー・エス
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4860434670
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2017年04月01日
この商品の紹介
光リソグラフィ技術について解説し、ＥＵＶリソグラフィ技術、ナノインプリント技術、電子線描画技術といった、光リソグラフィ技術を超える「ポスト光リソグラフィ技術」の技術動向を概観する。
半導体微細パターニング 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術/単行本
19,998
円(税込)
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