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この商品の詳細
- 出版社
- 丸善出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4621300985
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2016年11月01日
この商品の紹介
薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第３版。
薄膜工学/単行本
1,890
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