この商品の詳細
- 出版社
- 森北出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4627775510
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2016年06月01日
この商品の紹介
最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのＭＥＭＳ」の続編。
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1,260
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