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窒化物基板および格子整合基板の成長とデバイス特性/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- 新材料・新素材シリーズ
- ISBN
- 4781310442
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2015年12月01日
この商品の紹介
グリーンテクノロジーの基盤技術であるIII族窒化物半導体開発。III族窒化物単結晶の作製法や、III族窒化物半導体に格子整合する基板用材料、それらの基板を用いたデバイス試作の例などを解説する。
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窒化物基板および格子整合基板の成長とデバイス特性/単行本
1,990
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