この商品の詳細
- 出版社
- 日本工業出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4819026079
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2014年04月01日
この商品の紹介
「ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例」「ミニマルＣＭＰ装置開発」など、超小型半導体製造システム「ミニマルファブ」に関する論考をまとめる。『クリーンテクノロジー』２０１３年１２月号の特集を基に書籍化。
ミニマルファブによる製造技術の革新/単行本
630
円(税込)
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