この商品の詳細
- 出版社
- 産業タイムズ社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4883532186
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2013年12月01日
この商品の紹介
半導体製造の新コンセプト・生産技術である「ミニマルファブ」。ミニマルファブ構想の背景や基本理念、半導体産業にどのようなインパクトをもたらすのかを説明し、主要企業のミニマル装置・部材開発の動向などを紹介する。
ミニマルファブハンドブック/単行本
1,990
円(税込)
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