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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎/単行本

作家 ： 表面技術協会
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この商品の詳細

出版社
コロナ社
出版社シリーズ
ISBN
4339046311
サイズ
単行本
発売年月日
2013年05月01日

この商品の紹介

ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。

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890 円(税込)

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