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はじめての薄膜作製技術/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 森北出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4627774520
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2012年11月01日
この商品の紹介
現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
はじめての薄膜作製技術/単行本
1,150
円(税込)
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