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薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
目次 :第1章 薄膜とは;第2章 薄膜作製技術の基礎;第3章 真空蒸着法;第4章 スパッタリング法;第5章 化学気相成長法;第6章 薄膜の評価技術;第7章 薄膜作製技術の応用
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