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半導体・MEMSのための超臨界流体/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- コロナ社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4339008371
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2012年09月01日
この商品の紹介
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・ＭＥＭＳの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
半導体・MEMSのための超臨界流体/単行本
1,990
円(税込)
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