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はじめての半導体製造装置/単行本

作家 ： 前田和夫
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この商品の詳細

出版社
技術評論社
出版社シリーズ
現場の即戦力
ISBN
4774147505
サイズ
単行本
発売年月日
2011年08月01日

この商品の紹介

半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、２１世紀の半導体製造装置なども紹介する。

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