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シリコン貫通電極TSV/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 東京電機大学出版局
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4501328009
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2011年04月01日
この商品の紹介
シリコン貫通電極（ＴＳＶ）の技術をいろいろな角度から検討。ＴＳＶ製作の工程、ＴＳＶを応用した構造やデバイス、電気的特性と熱特性などを解説する。
シリコン貫通電極TSV/単行本
550
円(税込)
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