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はじめてのMEMS/単行本

作家 ： 江刺正喜
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この商品の詳細

出版社
森北出版
出版社シリーズ
ISBN
4627784918
サイズ
単行本
発売年月日
2011年03月01日

この商品の紹介

最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までをわかりやすく解説する。

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