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プラズマ／プロセスの原理/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 丸善
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784621082232
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2010年01月01日
この商品の紹介
半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。
プラズマ／プロセスの原理/単行本
800
円(税込)
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