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この商品の詳細
- 出版社
- 技術評論社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784774139043
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2009年08月01日
この商品の紹介
センサの基本的な分類と各種変換効果、ＭＥＭＳセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。
マイクロセンサ工学/単行本
330
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