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触媒CVD〈Cat‐CVD〉の新展開 ラジカルを用いる新プロセス技術/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- エレクトロニクスシリーズ
- ISBN
- 9784781300399
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2008年10月01日
この商品の紹介
表面科学、触媒化学、薄膜結晶成長、真空工学をベースに、Ｃａｔ－ＣＶＤの基礎から装置、材料、応用までを詳細に検討し、今後の実用化に向けた課題を示す。
触媒CVD〈Cat‐CVD〉の新展開 ラジカルを用いる新プロセス技術/単行本
800
円(税込)
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