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オプティカルリソグラフィー/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- オプトロニクス社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784902312331
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2008年09月01日
この商品の紹介
光技術の関係者に特に関心の高い技術を、基礎から応用面までわかりやすく解説した技術書。光学の基礎からイメージング技術、評価手法まで、リソグラフィーを学問的に体系づけて紹介する。〈リング綴じ〉
オプティカルリソグラフィー/単行本
1,990
円(税込)
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