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ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

目次 ：第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）；第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）；第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）；第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）；第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）

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