この商品の詳細
- 出版社
- シーエムシー出版
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784882319153
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2007年03月01日
この商品の紹介
ナノテクノロジーの基盤技術としてのプラズマ・イオンビーム技術という観点から、プラズマ、イオンと固体物質の相互作用、各種装置および機能性材料の創成プロセスへの応用に重点を置き、研究の最先端を紹介。
プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー/単行本
2,470
円(税込)
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