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半導体のための真空技術入門 現場で役立つ基礎と応用/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 工業調査会
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 9784769312628
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2007年02月01日
この商品の紹介
半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
半導体のための真空技術入門 現場で役立つ基礎と応用/単行本
275
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