この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526057657
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2006年10月01日
この商品の紹介
クラスターイオンビーム技術は、数百から数千の原子の塊（クラスター）からなるイオンを高速で、固体の表面に衝突させて行う表面加工技術。その基礎現象とプロセス技術の応用例をふんだんに盛り込んだ一冊。
クラスターイオンビーム基礎と応用/単行本
1,990
円(税込)
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