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半導体製造装置用語辞典/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526057401
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2006年09月01日
この商品の紹介
設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する７つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を２１５語追加した第６版。
半導体製造装置用語辞典/単行本
1,150
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