この商品の詳細
- 出版社
- コロナ社
- 出版社シリーズ
- 電子情報通信レクチャーシリーズ
- ISBN
- 4339018872
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2006年08月01日
この商品の紹介
半導体はエレクトロニクス全般の中心的な役割を果たし、一層の拡大が期待される。半導体市場で大きな役割を占めるＳｉＬＳＩの製造プロセスについて、個別の要素プロセスの位置付けと関連する課題に重点を置き解説。
VLSI工学 製造プロセス編/単行本
2,200
円(税込)
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