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センサ・マイクロマシン工学/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- オーム社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4274201341
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2005年10月01日
この商品の紹介
センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
センサ・マイクロマシン工学/単行本
400
円(税込)
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