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MEMSのはなし Science and technology/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- 日刊工業新聞社
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526054046
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2005年01月01日
この商品の紹介
電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
MEMSのはなし Science and technology/単行本
275
円(税込)
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