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本書では、平成14,15年度に(財)マイクロマシンセンターに設けられた「マイクロマシンの長期ビジョンに関する調査研究部会」における将来展望の議論を踏まえ、これにマイクロマシン産業化のこれまでの展開や、マイクロマシン技術の現状と展望、ナノ技術への展開を含めて、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説している。
目次 :第1章 マイクロマシンとは(なぜ今マイクロマシン;マイクロマシン技術の特徴 ほか);第2章 マイクロマシンの技術の現状と展望(基盤技術;MEMS・デバイス技術 ほか);第3章 ナノテクノロジーとの融合―ナノテクノロジー材料はマイクロマシンと融合して製品になる(マイクロマシンの現状―立体幾何学的構造が機能を生むマイクロマシン;マイクロ・ナノ融合技術 ほか);第4章 応用分野の将来展望(ナノバイオ;健康・医療・福祉 ほか);第5章 産業化への課題(MEMSの市場特性;MEMSの産業の課題 ほか)
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