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イオン工学ハンドブック ナノテクノロジーへの道を拓く/単行本
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この商品の詳細
- 出版社
- イオン工学研究所
- 出版社シリーズ
- ISBN
- 4526053805
- サイズ
- 単行本
- 発売年月日
- 2004年10月01日
この商品の紹介
次世代半導体デバイスや液晶ディスプレイ等に必要不可欠なイオン注入、生体材料等に応用される表面改質、イオンビームミキシング、三次元加工技術等を包含し、イオン工学の基礎から具体的な材料やデバイスの適用事例を詳説。
イオン工学ハンドブック ナノテクノロジーへの道を拓く/単行本
1,990
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