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本書は、透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。関連産業とその技術の社会的位置づけ、および透明導電膜の歴史、物質科学、応用例を述べ、関連する材料科学を紹介、実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、薄膜の作製法、微細加工法、および機能の評価方法を詳細に解説している。最後に、薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。
目次 :第1章 地球環境・エネルギー・情報化社会;第2章 透明導電膜は何に使われるか;第3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か;第4章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか;第5章 透明導電膜はどのようにして作るか;第6章 透明導電膜をいかに微細加工するか;第7章 透明導電膜はどのように評価するか
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